氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

氦检漏仪产品介绍

以下内容由科创真空为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。

专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： <2S检漏口： 300Pa极限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG

以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多氦检漏设备的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也

就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

检漏设备在检测时需要留意的事项

检漏设备来讲，咱们其实也便是要留意，这个方面来讲，其实也便是能够快速的找出它的走漏点，其本钱来讲其实也便是会比较高，咱们的检漏设备其实也便是能够合适批量化作业；这个方面来讲的话，咱们其实也便是要留意，关于其检漏设备应该在无风状态下进行运用。★真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全★氦气示踪安全环保。

再者，咱们其实也便是要留意，关于检漏设备检测气密性的时分，首要来讲，其实也便是要留意制止呈现揉捏的现象，简略来讲，其实也便是要直接的制止其践踏仪器或者是直接的坐在仪器上，或者是在咱们的仪器上直接的摆放其他物品。